Оборудование полупроводникового производства

Оборудование полупроводникового производства

Bibliographic Details
Other Authors:	Масленников, Павел Николаевич, Лаврентьев, Константин Андреевич, Гингис, Александр Давыдович
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Москва Радио и связь 1981
Subjects:	учебные издания для вузов производство полупроводниковых приборов производство интегральных микросхем технологическое оборудование оборудование для обработки пластин планарные технологии диффузионно-окислительные системы системы ионного легирования эпитаксиальные преобразователи. оборудование для получения эпитаксиальных пленок оборудование для осаждения пленок вакуумно-напылительное оборудование фотолитографическое оборудование монтажно-сборочное оборудование кристаллизационные установки герметизирующее оборудование контрольно-измерительная аппаратура. испытательное оборудование технологические процессы. обеспечение микроклимата очистка сред технологические средства, требования автоматизация технологических процессов. промышленные роботы.
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Internet

Перейти в каталог НБ ТГУ

Научная библиотека ТГУ: Книгохранилище

Holdings details from Научная библиотека ТГУ: Книгохранилище
Call Number:	1-457335
	Available Place a Hold