Оборудование полупроводникового производства

Bibliographic Details
Other Authors: Масленников, Павел Николаевич, Лаврентьев, Константин Андреевич, Гингис, Александр Давыдович
Format: Book
Language:Russian
Published: Москва Радио и связь 1981
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог НБ ТГУ
LEADER 03281nam a2200565 c 4500
001 vtls000529055
003 RU-ToGU
005 20210922080321.0
008 160404s1981 ru ad b 000 0 rus d
035 |a to000529055 
039 9 |a 201604041809  |c 201604041639  |d cat40  |y 201604041625  |z Александр Эльверович Гилязов 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
080 |a 621.382.049.77(075.8) 
245 1 0 |a Оборудование полупроводникового производства  |c [П. Н. Масленников, К. А. Лаврентьев, А. Д. Гингис и др.] ; под ред. П. Н. Масленникова 
260 |a Москва  |b Радио и связь  |c 1981  |9 701853 
300 |a 335, [1] с.  |b ил., табл. 
500 |a Авт. указ. на обороте тит. л. 
504 |a Библиогр.: с. 330-333 
653 |a учебные издания для вузов 
653 |a производство полупроводниковых приборов 
653 |a производство интегральных микросхем 
653 |a технологическое оборудование 
653 |a оборудование для обработки пластин 
653 |a планарные технологии 
653 |a диффузионно-окислительные системы 
653 |a системы ионного легирования 
653 |a эпитаксиальные преобразователи. 
653 |a оборудование для получения эпитаксиальных пленок 
653 |a оборудование для осаждения пленок 
653 |a вакуумно-напылительное оборудование 
653 |a фотолитографическое оборудование 
653 |a монтажно-сборочное оборудование 
653 |a кристаллизационные установки 
653 |a герметизирующее оборудование 
653 |a контрольно-измерительная аппаратура. 
653 |a испытательное оборудование 
653 |a технологические процессы. 
653 |a обеспечение микроклимата 
653 |a очистка сред 
653 |a технологические средства, требования 
653 |a автоматизация технологических процессов. 
653 |a промышленные роботы. 
700 1 |a Масленников, Павел Николаевич.  |9 440243 
700 1 |a Лаврентьев, Константин Андреевич.  |9 440244 
700 1 |a Гингис, Александр Давыдович.  |9 440245 
852 4 |a RU-ToGU  |n ru 
856 |y Перейти в каталог НБ ТГУ  |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=390284 
908 |a учебник 
999 |c 390284  |d 390284 
952 |0 0  |1 0  |4 0  |6 1457335  |7 0  |9 626782  |a RU-ToGU  |b RU-ToGU  |c 10024  |d 2021-04-04  |g 1.50  |l 0  |o 1-457335  |p 13820000911769  |r 2021-04-04  |w 2021-04-04  |y 4