|
|
|
|
| LEADER |
03281nam a2200565 c 4500 |
| 001 |
vtls000529055 |
| 003 |
RU-ToGU |
| 005 |
20210922080321.0 |
| 008 |
160404s1981 ru ad b 000 0 rus d |
| 035 |
|
|
|a to000529055
|
| 039 |
|
9 |
|a 201604041809
|c 201604041639
|d cat40
|y 201604041625
|z Александр Эльверович Гилязов
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 080 |
|
|
|a 621.382.049.77(075.8)
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Оборудование полупроводникового производства
|c [П. Н. Масленников, К. А. Лаврентьев, А. Д. Гингис и др.] ; под ред. П. Н. Масленникова
|
| 260 |
|
|
|a Москва
|b Радио и связь
|c 1981
|9 701853
|
| 300 |
|
|
|a 335, [1] с.
|b ил., табл.
|
| 500 |
|
|
|a Авт. указ. на обороте тит. л.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 330-333
|
| 653 |
|
|
|a учебные издания для вузов
|
| 653 |
|
|
|a производство полупроводниковых приборов
|
| 653 |
|
|
|a производство интегральных микросхем
|
| 653 |
|
|
|a технологическое оборудование
|
| 653 |
|
|
|a оборудование для обработки пластин
|
| 653 |
|
|
|a планарные технологии
|
| 653 |
|
|
|a диффузионно-окислительные системы
|
| 653 |
|
|
|a системы ионного легирования
|
| 653 |
|
|
|a эпитаксиальные преобразователи.
|
| 653 |
|
|
|a оборудование для получения эпитаксиальных пленок
|
| 653 |
|
|
|a оборудование для осаждения пленок
|
| 653 |
|
|
|a вакуумно-напылительное оборудование
|
| 653 |
|
|
|a фотолитографическое оборудование
|
| 653 |
|
|
|a монтажно-сборочное оборудование
|
| 653 |
|
|
|a кристаллизационные установки
|
| 653 |
|
|
|a герметизирующее оборудование
|
| 653 |
|
|
|a контрольно-измерительная аппаратура.
|
| 653 |
|
|
|a испытательное оборудование
|
| 653 |
|
|
|a технологические процессы.
|
| 653 |
|
|
|a обеспечение микроклимата
|
| 653 |
|
|
|a очистка сред
|
| 653 |
|
|
|a технологические средства, требования
|
| 653 |
|
|
|a автоматизация технологических процессов.
|
| 653 |
|
|
|a промышленные роботы.
|
| 700 |
1 |
|
|a Масленников, Павел Николаевич.
|9 440243
|
| 700 |
1 |
|
|a Лаврентьев, Константин Андреевич.
|9 440244
|
| 700 |
1 |
|
|a Гингис, Александр Давыдович.
|9 440245
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|n ru
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог НБ ТГУ
|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=390284
|
| 908 |
|
|
|a учебник
|
| 999 |
|
|
|c 390284
|d 390284
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|4 0
|6 1457335
|7 0
|9 626782
|a RU-ToGU
|b RU-ToGU
|c 10024
|d 2021-04-04
|g 1.50
|l 0
|o 1-457335
|p 13820000911769
|r 2021-04-04
|w 2021-04-04
|y 4
|
