Исследование процессов легирования кремния внедрением ионов 11B, 31P, 75As, 122Sb с энергией 1-10 кэВ автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Алма-Ата
[б. и.]
1984
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
Internet
Перейти в каталог НБ ТГУНаучная библиотека ТГУ: Книгохранилище
| Call Number: |
1-473743 |
|---|---|
| Available Place a Hold |