Исследование процессов легирования кремния внедрением ионов 11B, 31P, 75As, 122Sb с энергией 1-10 кэВ автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.07

Bibliographic Details
Main Author: Кусаинов, Жетен Акрамович
Format: Book
Language:Russian
Published: Алма-Ата [б. и.] 1984
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items