Формирование морфологии на поверхности n-GaN методом жидкостного химического травления

Увеличение внешнего квантового выхода является ключевой проблемой изготовления светодиодных структур. Для решения данной проблемы используется метод по созданию сложной морфологии на светоизлучающей поверхности. В данной работе предлагается использование метода жидкостного химического травлени...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 58, № 10/3. С. 147-149
Main Author: Засухин, Дмитрий Иннокентьевич
Corporate Authors: Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра квантовой электроники и фотоники, Томский государственный университет Сибирский физико-технический институт Научные подразделения СФТИ
Other Authors: Каримбаев, Дамир Джамаллитдинович, Коханенко, Андрей Павлович
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000535799
Перейти в каталог НБ ТГУ