Формирование морфологии на поверхности n-GaN методом жидкостного химического травления
Увеличение внешнего квантового выхода является ключевой проблемой изготовления светодиодных структур. Для решения данной проблемы используется метод по созданию сложной морфологии на светоизлучающей поверхности. В данной работе предлагается использование метода жидкостного химического травления в см...
Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 58, № 10/3. С. 147-149 |
---|---|
Main Author: | Засухин, Дмитрий Иннокентьевич |
Corporate Authors: | Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра квантовой электроники и фотоники, Томский государственный университет Сибирский физико-технический институт Научные подразделения СФТИ |
Other Authors: | Каримбаев, Дамир Джамаллитдинович, Коханенко, Андрей Павлович |
Format: | Article |
Language: | Russian |
Subjects: | |
Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000535799 |
Similar Items
- The surface roughening of GaN by wet chemical etching
-
Формирование шероховатости на поверхности нитрида галлия
by: Засухин, Дмитрий Иннокентьевич -
Влияние температуры роста на статистические параметры морфологии поверхности GaN
by: Новиков, Вадим Александрович -
Вода с дезактивированным кислородом для промывки поверхности полупроводников AIIIBV после химического травления
by: Мокроусов, Геннадий Михайлович - Led InGaN/GaN structures with short-period superlattice grown on flat and patterned sapphire substrates