Лазеры в микроэлектронике [учебное пособие для студентов старших курсов вузов по специальности 651400 "Машиностроительные технологии и оборудование", 150206 "Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов"]

Bibliographic Details
Main Author:	Малов, Илья Евгеньевич
Other Authors:	Шиганов, Игорь Николаевич
Format:	eBook
Language:	Russian
Published:	Москва Издательство МГТУ им. Н. Э. Баумана 2012
Subjects:	электронные учебные пособия для вузов лазерная обработка материалов. микроэлектроника лазерная обработка полупроводников имплантированные слои лазерный отжиг осаждение пленок легирование лазерное лазерная обработка пленок размерная обработка микромаркировка маркировка полупроводниковых пластин запись информации цифровая запись информации аналоговая динамическая балансировка деталей лазерные установки
Online Access:	Доступ к полному тексту документа после регистрации пользователя на сайте http://e.lanbook.com/ в локальной сети ТГУ Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items