Исследование возможностей термического напыления тонких слоев Ga2O3 и GaSe на подложки из сапфира и селенида галлия
Опубликовано в: : | Физика твердого тела : сборник материалов XV Российской научной студенческой конференции, 18-20 мая 2016 г., г. Томск, Россия С. 184-186 |
---|---|
Другие авторы: | , , , , |
Формат: | Статья в сборнике |
Язык: | Russian |
Предметы: | |
Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000565718 Перейти в каталог НБ ТГУ |