Информационно-измерительный микроплазменный комплекс для формирования наноструктурных неметаллических неорганических покрытий с заданными свойствами
Published in: | Телематика' 2012. Т. 1 : труды ХIX Всероссийской научно-методической конференции, 25-28 июня 2012 года, Санкт-Петербург Т. 1. С. 203-204 |
---|---|
Other Authors: | , , , , |
Format: | Book Chapter |
Language: | Russian |
Subjects: | |
Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |