LEADER 01881naa a2200337 c 4500
001 vtls000617825
003 RU-ToGU
005 20241016174945.0
007 cr |
008 171213s2015 ru fs 100 0 rus d
035 |a to000617825 
040 |a RU-ToGU  |b rus  |c RU-ToGU 
245 1 0 |a Альтернативные технологии создания структур с квантовыми точками Ge/Si  |c Н. А. Кульчицкий, А. А. Мельников, А. В. Войцеховский и др. 
246 1 1 |a Alternative technologies to create structures with quantum dots of Ge/Si 
504 |a Библиогр.: 9 назв. 
653 |a альтернативные технологии 
653 |a квантовые точки 
653 |a молекулярно-лучевая эпитаксия 
653 |a ионная имплантация 
655 4 |a статьи в сборниках 
700 1 |a Кульчицкий, Николай Александрович 
700 1 |a Войцеховский, Александр Васильевич 
700 1 |a Несмелов, Сергей Николаевич 
700 1 |a Коханенко, Андрей Павлович 
700 1 |a Лозовой, Кирилл Александрович 
700 1 |a Мельников, Александр Александрович  |c доктор физ.-мат. наук 
773 0 |t Вакуумная техника, материалы и технология : материалы X международной научно-технической конференции (Москва, КВЦ "Сокольники", 2015, 14-16 апреля)  |d М., 2015  |g С. 243-248  |z 9785904463502 
852 4 |a RU-ToGU 
856 7 |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000617825 
908 |a статья 
999 |c 428811  |d 428811