Численный анализ кинетики химических реакций в аргон-силановой плазме тлеющего разряда
Путем численного решения уравнений диффузии для нейтральных компонентов с учетом протекания химических реакций в газовой фазе проведено моделирование состава аргон-силановой плазмы тлеющего разряда. Анализируется вклад наиболее значимых химических реакций в кинетику образования и гибели различ...
| Published in: | Вестник Томского государственного университета. Математика и механика № 50. С. 79-89 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000619097 Перейти в каталог НБ ТГУ |