Физические основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [учебное пособие для студентов вузов по направлению подготовки высшего образования 03.03.02 - Физика]

Физические основы технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем [учебное пособие для студентов вузов по направлению подготовки высшего образования 03.03.02 - Физика]

Bibliographic Details
Main Author:	Орлов, Анатолий Михайлович
Other Authors:	Костишко, Борис Михайлович, Скворцов, Аркадий Алексеевич
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Ульяновск [Ульяновский государственный университет] 2015
Edition:	2-е изд., перераб. и доп.
Subjects:	физика полупроводниковых приборов рост кристаллов подложки для полупроводниковых приборов подложки для интегральных микросхем диэлектрические пленки окисление кремния (физика полупроводниковых материалов) диффузия в твердых телах уравнения диффузии в твердых телах дефекты кристаллов полупроводников эпитаксия литография в микроэлектронике фотолитографические процессы тонкие пленки поликристаллические технологии интегральных микросхем полупроводниковые приборы, сборка производственный контроль качества МДП-структуры МДП-технологии топология интегральных микросхем
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Internet

Перейти в каталог НБ ТГУ

Научная библиотека ТГУ: Читальный зал 5

Holdings details from Научная библиотека ТГУ: Читальный зал 5
Call Number:	537 О-664
	Available Place a Hold

Научная библиотека ТГУ: Читальный зал. Депозитарий

Holdings details from Научная библиотека ТГУ: Читальный зал. Депозитарий
Call Number:	537 О-664
	Available Place a Hold