Гидродинамическая модель катодного слоя магнетронного разряда
| Published in: | Современные проблемы физики и технологии : (сборник статей молодых ученых) С. 141-145 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Book Chapter |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |