Гидродинамическая модель катодного слоя магнетронного разряда
Опубликовано в: : | Современные проблемы физики и технологии : (сборник статей молодых ученых) С. 141-145 |
---|---|
Главный автор: | Рычков, Д. С. |
Другие авторы: | Маракасов, Дмитрий Анатольевич |
Формат: | Статья в сборнике |
Язык: | Russian |
Предметы: | |
Online-ссылка: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
Похожие документы
-
Цилиндрическая магнетронная распылительная система с вращающимся катодом
по: Захаров, А. Н. - Генератор объемной плазмы высокой плотности на основе сильноточного импульсного магнетронного разряда
- Voluminous high-density plasma generator based on high-current pulsed magnetron discharge
-
Возникновение акустических колебаний в высокочастотных разрядах
по: Балицкая, М. И. -
Процесс каскадного испарения заряженной капли
по: Ситников, А. Г.