Гидродинамическая модель катодного слоя магнетронного разряда

Библиографическая информация
Опубликовано в: :Современные проблемы физики и технологии : (сборник статей молодых ученых) С. 141-145
Главный автор: Рычков, Д. С.
Другие авторы: Маракасов, Дмитрий Анатольевич
Формат: Статья в сборнике
Язык:Russian
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог НБ ТГУ

Похожие документы