Прибор для бесконтактного метода измерения удельного сопротивления полупроводниковых материалов
The article is devoted to a non-contact method for measuring the resistivity of semiconductor materials using the resonator method as an example. Described the design, functional scheme and results of the installation.
| Published in: | Инноватика - 2018 : сборник материалов XIV Международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 26-27 апреля 2018 г., г. Томск, Россия С. 125-128 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , |
| Format: | Book Chapter |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000633973 |