Элементарные процессы роста при газофазовой эпитаксии полупроводниковых соединений III-V
| Опубликовано в: : | Физико-химические процессы в неорганических материалах (ФХП-9). Т. 1 : международная конференция : посвящается 50-летию Кемеровского государственного университета, 22-25 сентября 2004 года : доклады Т. 1. С. 484-486 |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Другие авторы: | |
| Формат: | Статья в сборнике |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог НБ ТГУ |