Элементарные процессы роста при газофазовой эпитаксии полупроводниковых соединений III-V
| Published in: | Физико-химические процессы в неорганических материалах (ФХП-9). Т. 1 : международная конференция : посвящается 50-летию Кемеровского государственного университета, 22-25 сентября 2004 года : доклады Т. 1. С. 484-486 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Book Chapter |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |