Методы контроля скорости напыления кремния и германия при МЛЭ
| Published in: | Материалы 56-й Международной научной студенческой конференции МНСК-2018, 22-27 апреля 2018 г. Квантовая физика С. 9 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Book Chapter |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000652549 Перейти в каталог НБ ТГУ |