МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники

Bibliographic Details
Main Author:	Акчурин, Рауф Хамзинович
Other Authors:	Мармалюк, Александр Анатольевич 1970-
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Москва Техносфера 2018
Series:	Мир материалов и технологий
Subjects:	полупроводниковые материалы, технология полупроводниковые структуры, эпитаксиальное выращивание интегральные схемы полупроводниковые пленочные эпитаксиальные пленки полупроводниковые, нанесение МОС-гидридная эпитаксия, метод эпитаксиальные структуры полупроводников, формирование эпитаксиальные структуры полупроводников наноразмерные, формирование эпитаксиальные гетероструктуры полупроводников, формирование металлоорганические соединения и гидриды, взаимодействие эпитаксиальные слои полупроводников, выращивание МОС-гидридная эпитаксия, оборудование материалы электронной техники
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Holdings details from Научная библиотека ТГУ: Читальный зал 5
Call Number:	621.3 А448
	Available Place a Hold

Holdings details from Научная библиотека ТГУ: Читальный зал. Депозитарий
Call Number:	621.3 А448
	Available Place a Hold

Similar Items