Исследование эпитаксиальных гетерослоев GeSi/Si методом рентгеновской дифрактометрии
Published in: | Физика твердого тела : сборник материалов XVI Российской научной студенческой конференции, Томск, 17–20 апреля 2018 г. С. 205-206 |
---|---|
Main Author: | |
Other Authors: | , |
Format: | Book Chapter |
Language: | Russian |
Subjects: | |
Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000659586 |