Характеристики сенсоров водорода на основе тонких пленок диоксида олова, модифицированных платиной, палладием, серебром и иттрием
Исследуется зависимость характеристик сенсоров водорода на основе тонких пленок Pt/Pd/SnO2:Sb, Ag, Y и Ag/SnO2:Sb, Ag, Y, полученных методом магнетронного распыления на постоянном токе, от уровня влажности газовой смеси при работе в режиме термоциклирования. Анализ экспериментальных данных проводил...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 61, № 6. С. 136-141 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000661193 Перейти в каталог НБ ТГУ |