Аксиальное распределение масс-зарядового состава плазмы магнетронного разряда
Проведены исследования аксиального распределения масс-зарядового состава плазмы планарного магнетрона. В качестве материала мишени использовалась медь, рабочим газом являлся аргон. Для исследования масс-зарядового состава использовался модернизированный квадрупольный масс-спектрометр. Измерения пров...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 62, № 11. С. 30-33 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000674985 |