|
|
|
|
| LEADER |
02942nab a2200349 c 4500 |
| 001 |
vtls000674985 |
| 003 |
RU-ToGU |
| 005 |
20241102113627.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
200207|2019 ru s c rus d |
| 024 |
7 |
|
|a 10.17223/00213411/62/11/30
|2 doi
|
| 035 |
|
|
|a to000674985
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Аксиальное распределение масс-зарядового состава плазмы магнетронного разряда
|c М. В. Шандриков, И. Д. Артамонов, А. В. Визирь [и др.]
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 15 назв.
|
| 506 |
|
|
|a Ограниченный доступ
|
| 520 |
3 |
|
|a Проведены исследования аксиального распределения масс-зарядового состава плазмы планарного магнетрона. В качестве материала мишени использовалась медь, рабочим газом являлся аргон. Для исследования масс-зарядового состава использовался модернизированный квадрупольный масс-спектрометр. Измерения проводились вдоль оси разрядной системы на расстоянии от 15 до 45 см от мишени магнетрона. Рабочее давление изменялось в диапазоне от 1.2∙10-3 до 3∙10-3 Торр при токе разряда от 100 до 500 мA в непрерывном режиме. Было показано, что на расстоянии 15 см от магнетрона в долевом отношении преобладают ионы аргона. На максимальном расстоянии наблюдаются преимущественно ионы меди. Доля ионов аргона снижается с увеличением тока разряда и увеличением рабочего давления.
|
| 653 |
|
|
|a планарные магнетроны
|
| 653 |
|
|
|a масс-зарядовый состав
|
| 653 |
|
|
|a ионы
|
| 653 |
|
|
|a аксиальное распределение
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Артамонов, Игорь Дмитриевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Визирь, Алексей Вадимович
|
| 700 |
1 |
|
|a Бугаев, Алексей Сергеевич
|
| 700 |
1 |
|
|a Окс, Ефим Михайлович
|
| 700 |
1 |
|
|a Шандриков, Максим Валентинович
|
| 773 |
0 |
|
|t Известия высших учебных заведений. Физика
|d 2019
|g Т. 62, № 11. С. 30-33
|x 0021-3411
|w 0026-80960
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000674985
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 462877
|d 462877
|
