Синтез однослойных ZrN-покрытий вакуумно-дуговым плазменно-ассистированным методом с фильтрацией плазменного потока

Получены покрытия на основе ZrN вакуумно-дуговым методом в условиях плазменного ассистирования и фильтрации плазмы от капельной фазы. Комплексно исследованы свойства, элементный и фазовый состав покрытий, их структура методами современного материаловедения. Выявлены режимы осаждения, в которых сформ...

Full description

Bibliographic Details
Published in:Известия высших учебных заведений. Физика Т. 62, № 5. С. 106-111
Other Authors: Шугуров, Владимир Викторович, Прокопенко, Никита Андреевич, Петрикова, Елизавета Алексеевна, Толкачев, Олег Сергеевич, Денисова, Юлия Александровна, Крысина, Ольга Васильевна
Format: Article
Language:Russian
Subjects:
Online Access:http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000674220