Синтез однослойных ZrN-покрытий вакуумно-дуговым плазменно-ассистированным методом с фильтрацией плазменного потока
Получены покрытия на основе ZrN вакуумно-дуговым методом в условиях плазменного ассистирования и фильтрации плазмы от капельной фазы. Комплексно исследованы свойства, элементный и фазовый состав покрытий, их структура методами современного материаловедения. Выявлены режимы осаждения, в которых сформ...
Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 62, № 5. С. 106-111 |
---|---|
Other Authors: | , , , , , |
Format: | Article |
Language: | Russian |
Subjects: | |
Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000674220 |