Технология полупроводниковых приборов [учебное пособие для вузов по специальностям "Полупроводники и диэлектрики" и "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы"]

Bibliographic Details
Main Author:	Пичугин, Игорь Геннадьевич
Other Authors:	Таиров, Юрий Михайлович
Format:	eBook
Language:	Russian
Published:	Москва Высшая школа 1984
Subjects:	учебные пособия для вузов полупроводниковые приборы, технология омические контакты поверхности полупроводников, обработка конструкции полупроводниковых приборов контроль технологических процессов полупроводниковые материалы, обработка фотохимические процессы интегральные микросхемы, производство эпитаксиальные процессы электронно-дырочные структуры Ионное легирование диффузия контактные системы защита поверхности полупроводников покрытия полупроводников органические учебные издания
Online Access:	http://sun.tsu.ru/limit/2016/000415496/000415496.pdf

Holdings details from Научная библиотека ТГУ: Абонемент
Call Number:	621.38 П364
	Checked out – Due: 03-15-2025 23:59 Recall This

Holdings details from Научная библиотека ТГУ: Книгохранилище
Call Number:	1-552589к
	Available Place a Hold

Similar Items