Применение ГВЧ имиджинга для дефектоскопии элементов микроэлектроники с высоким разрешением
| Опубликовано в: : | Актуальные проблемы радиофизики АПР 2019 : 8-я Международная научно-практическая конференция, 1-4 октября 2019 года, г. Томск : сборник трудов конференции С. 193-195 |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Другие авторы: | |
| Формат: | Статья в сборнике |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000709178 Перейти в каталог НБ ТГУ |