Повышение механической устойчивости макрообразцов кремния, содержащих область иерархически организованной поровой структуры
Представлены результаты исследования устойчивости к механическим воздействиям макрообразцов из монокристаллического кремния, содержащих область пористого кремния. Разработан дизайн макрообразцов, обеспечивший формирование поровой структуры на глубину до 170 мкм без растрескивания и разрушения п...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 63, № 6. С. 89-93 |
|---|---|
| Other Authors: | , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000723036 Перейти в каталог НБ ТГУ |