Развитие комплексного электронно-ионно-плазменного метода модификации поверхности материалов и изделий

Обнаружены закономерности модификации элементного и фазового состава и дефектной субструктуры, механических и трибологических свойств углеродистой стали при комбинированной обработке в едином вакуумном цикле. Проведено формирование в едином вакуумном пространстве пленок Si+Nb, толщиной 1 мкм каждая,...

Full description

Bibliographic Details

Published in:	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 63, № 10. С. 174-183
Other Authors:	Иванов, Юрий Федорович 1955-, Девятков, Владимир Николаевич, Шугуров, Владимир Викторович, Тересов, Антон Дмитриевич, Петрикова, Елизавета Алексеевна, Коваль, Николай Николаевич
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	электронно-ионно-плазменные методы модификация поверхности система пленка-подложка структура свойства статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000789116