Свойства магнетронного разряда низкого давления в условиях инициирования пучком ускоренных ионов эмиссионных процессов на электродах разряда

Рассмотрено влияние ионного пучка, инжектируемого вдоль оси анодного электрода планарного магнетрона, на зажигание аномального тлеющего разряда низкого давления в магнетроне. Определены характеристики зажигания разряда при давлениях < 8·10-2 Па и свойства планарного магнетрона при облучении като...

Full description

Bibliographic Details

Published in:	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 63, № 10. С. 102-108
Other Authors:	Семенова, Ирина Александровна канд техн. наук, Цыренов, Дмитрий Бадма-Доржиевич, Николаев, Эрдэм Олегович, Семенов, Александр Петрович
Format:	Article
Language:	Russian
Subjects:	магнетронные разряды пучки ионов эмиссионные процессы свойства применение статьи в журналах
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000788918 Перейти в каталог НБ ТГУ