Свойства магнетронного разряда низкого давления в условиях инициирования пучком ускоренных ионов эмиссионных процессов на электродах разряда
Рассмотрено влияние ионного пучка, инжектируемого вдоль оси анодного электрода планарного магнетрона, на зажигание аномального тлеющего разряда низкого давления в магнетроне. Определены характеристики зажигания разряда при давлениях < 8·10-2 Па и свойства планарного магнетрона при облучении като...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 63, № 10. С. 102-108 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000788918 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 03344nab a2200397 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | vtls000788918 | ||
| 003 | RU-ToGU | ||
| 005 | 20230319221555.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 201125|2020 ru s c rus d | ||
| 024 | 7 | |a 10.17223/00213411/63/10/102 |2 doi | |
| 035 | |a to000788918 | ||
| 039 | 9 | |a 202011301219 |c 202011251227 |d VLOAD |y 202011250800 |z Александр Эльверович Гилязов | |
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 245 | 1 | 0 | |a Свойства магнетронного разряда низкого давления в условиях инициирования пучком ускоренных ионов эмиссионных процессов на электродах разряда |c А. П. Семенов, И. А. Семенова, Д.Б.-Д. Цыренов, Э. О. Николаев |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 20 назв. | ||
| 506 | |a Ограниченный доступ | ||
| 520 | 3 | |a Рассмотрено влияние ионного пучка, инжектируемого вдоль оси анодного электрода планарного магнетрона, на зажигание аномального тлеющего разряда низкого давления в магнетроне. Определены характеристики зажигания разряда при давлениях < 8·10-2 Па и свойства планарного магнетрона при облучении катода магнетрона пучком ионов аргона. Установлено, что напряжение зажигания разряда падает с повышением энергии ионов и пороговым образом зависит от тока ионного пучка. Показана перспектива расширения функциональных возможностей планарных магнетронов за счет согласования режимов распыления центрального анода ионным пучком и катода магнетрона плазменными ионами аномального тлеющего разряда. | |
| 653 | |a магнетронные разряды | ||
| 653 | |a пучки ионов | ||
| 653 | |a эмиссионные процессы | ||
| 653 | |a свойства | ||
| 653 | |a применение | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 879358 | |
| 700 | 1 | |a Семенова, Ирина Александровна |c канд техн. наук |9 506928 | |
| 700 | 1 | |a Цыренов, Дмитрий Бадма-Доржиевич |9 506929 | |
| 700 | 1 | |a Николаев, Эрдэм Олегович |9 506930 | |
| 700 | 1 | |a Семенов, Александр Петрович |9 506931 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2020 |g Т. 63, № 10. С. 102-108 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000788918 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=474272 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 999 | |c 474272 |d 474272 | ||