Формирование, фокусировка и транспортировка высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии
Высокоинтенсивная имплантация низкоэнергетических ионов в различные материалы демонстрирует возможность образования протяженных, легированных ионами слоев толщиной десятки и даже сотни микрометров. Глубокое проникновение легирующей примеси достигается, в первую очередь, за счет усиленной радиационно...
| Опубликовано в: : | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 63, № 10. С. 54-66 |
|---|---|
| Другие авторы: | , , , , |
| Формат: | Статья в журнале |
| Язык: | Russian |
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000788784 |