Особенности высокоинтенсивной имплантации ионов низкой энергии

Проведены численное моделирование и экспериментальные исследования для определения реальных температур поверхностных и приповерхностных слоев различных материалов в зависимости от режимов высокоинтенсивного ионного облучения. Интегральная температура мишени измерялась с помощью электрически изолиров...

Полное описание

Библиографическая информация

Опубликовано в: :	Известия высших учебных заведений. Физика Т. 63, № 10. С. 157-165
Другие авторы:	Иванова, Анна Ивановна, Корнева, Ольга Сергеевна, Сивин, Денис Олегович, Рябчиков, Александр Ильич
Формат:	Статья в журнале
Язык:	Russian
Предметы:	плазма вакуумной дуги ионные пучки ионная имплантация радиационно-стимулированная диффузия Ионное легирование статьи в журналах
Online-ссылка:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000789105