|
|
|
|
| LEADER |
02914nab a2200373 c 4500 |
| 001 |
vtls000789105 |
| 003 |
RU-ToGU |
| 005 |
20241104202930.0 |
| 007 |
cr | |
| 008 |
201127|2020 ru s c rus d |
| 024 |
7 |
|
|a 10.17223/00213411/63/10/157
|2 doi
|
| 035 |
|
|
|a to000789105
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Особенности высокоинтенсивной имплантации ионов низкой энергии
|c А. И. Рябчиков, А. И. Иванова, О. С. Корнева, Д. О. Сивин
|
| 336 |
|
|
|a Текст
|
| 337 |
|
|
|a электронный
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: 25 назв.
|
| 506 |
|
|
|a Ограниченный доступ
|
| 520 |
3 |
|
|a Проведены численное моделирование и экспериментальные исследования для определения реальных температур поверхностных и приповерхностных слоев различных материалов в зависимости от режимов высокоинтенсивного ионного облучения. Интегральная температура мишени измерялась с помощью электрически изолированной термопары. Для измерения динамического изменения локальной температуры на облучаемой поверхности мишени использовался высокотемпературный импульсный пирометр KLEIBER 740-LO. Исследован вклад ударно-волнового механизма в массоперенос имплантируемой примеси при высокоинтенсивном ионном облучении и закономерности накопления имплантируемой примеси при горячей высокоинтенсивной имплантации ионов.
|
| 653 |
|
|
|a плазма вакуумной дуги
|
| 653 |
|
|
|a ионные пучки
|
| 653 |
|
|
|a ионная имплантация
|
| 653 |
|
|
|a радиационно-стимулированная диффузия
|
| 653 |
|
|
|a Ионное легирование
|
| 655 |
|
4 |
|a статьи в журналах
|
| 700 |
1 |
|
|a Иванова, Анна Ивановна
|
| 700 |
1 |
|
|a Корнева, Ольга Сергеевна
|
| 700 |
1 |
|
|a Сивин, Денис Олегович
|
| 700 |
1 |
|
|a Рябчиков, Александр Ильич
|
| 773 |
0 |
|
|t Известия высших учебных заведений. Физика
|d 2020
|g Т. 63, № 10. С. 157-165
|x 0021-3411
|w 0026-80960
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|
| 856 |
4 |
|
|u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000789105
|
| 908 |
|
|
|a статья
|
| 999 |
|
|
|c 474326
|d 474326
|
