Особенности измерения удельного сопротивления поликристаллического кремния

Особенности измерения удельного сопротивления поликристаллического кремния

The article is devoted to the features of measuring resistivity in polycrystalline silicon. The results of measurements of resistivity in samples of polycrystalline silicon by microwave method are presented.

Bibliographic Details
Published in:	Инноватика - 2020 : сборник материалов XVI Международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 23-25 апреля 2020 г., г. Томск, Россия С. 119-124
Other Authors:	Левашкин, Андрей Геньевич, Башкиров, Александр Иванович, Лапатин, Леонид Григорьевич, Воронин, Дмитрий Алексеевич, Гончарова, Мария Александровна
Format:	Book Chapter
Language:	Russian
Subjects:	поликристаллический кремний удельное сопротивление полупроводников экспериментальные исследования статьи в сборниках
Online Access:	http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000792724

Internet

http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000792724