Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии
| Соавтор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Москва
Наука
2006
|
| Серии: | Труды Института общей физики им. А. М. Прохорова / Рос. акад. наук
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
Internet
Перейти в каталог НБ ТГУНаучная библиотека ТГУ: Книгохранилище
| Шифр: |
1-944590к |
|---|---|
| В каталоге библиотеки Зарезервировать |