Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии
Corporate Author: | Институт общей физики им. А. М. Прохорова (Москва) |
---|---|
Other Authors: | Новиков, Ю. А. (Editor) |
Format: | Book |
Language: | Russian |
Published: |
Москва
Наука
2006
|
Series: | Труды Института общей физики им. А. М. Прохорова / Рос. акад. наук
|
Subjects: | |
Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
Similar Items
-
Физические методы исследования материалов учебно-методическое пособие : [для студентов вузов, обучающихся по программе "15.03.03 Прикладная механика" и смежным направлениям и по программам "Радиофизика", "Оптотехника", "Физика", "Химия"]
by: Химич, Маргарита Андреевна
Published: (2023) -
Нанометрология
by: Сергеев, Алексей Георгиевич 1940-
Published: (2011) -
Нанометрология
by: Сергеев, Алексей Георгиевич 1940-
Published: (2012) -
Микроанализ и растровая электронная микроскопия
Published: (1985) -
Справочник по микроскопии для нанотехнологии пер. с англ.
Published: (2011)