Реакторы для осаждения слоев кремния из газовой фазы Ч. 1
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
Электроника
1977
|
| Series: | Обзоры по электронной технике Технология, организация производства и оборудование
|
| Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |
Internet
Перейти в каталог НБ ТГУНаучная библиотека ТГУ: Книгохранилище
| Call Number: |
1-324157 |
|---|---|
| Available Place a Hold |