Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС

Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС Ч. 1

Bibliographic Details
Main Author: Красников, Геннадий Яковлевич 1958-
Other Authors: Зайцев, Николай Алексеевич
Format: Book
Language:Russian
Published: М. [Б.м.] 1999
Subjects:
субмикронная технология.
полупроводники.
геттерирование.
структурно-примесные дефекты.
дрейф ионов.
кремниевые микросхемы.
интегральные схемы.
микроэлектроника.
примеси неконтролируемые.
кремний поликристаллический
чипы кремниевые.
технология производства микросхем.
физико-термические процессы.
Online Access:Перейти в каталог НБ ТГУ

Internet

Перейти в каталог НБ ТГУ

Научная библиотека ТГУ: Книгохранилище

Holdings details from Научная библиотека ТГУ: Книгохранилище
Call Number: 1-868101к
Available  Place a Hold

Similar Items