Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС Ч. 1

Bibliographic Details
Main Author:	Красников, Геннадий Яковлевич 1958-
Other Authors:	Зайцев, Николай Алексеевич
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	М. [Б.м.] 1999
Subjects:	субмикронная технология. полупроводники. геттерирование. структурно-примесные дефекты. дрейф ионов. кремниевые микросхемы. интегральные схемы. микроэлектроника. примеси неконтролируемые. кремний поликристаллический чипы кремниевые. технология производства микросхем. физико-термические процессы.
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items