|
|
|
|
| LEADER |
01952nam a2200421 4500 |
| 001 |
vtls000052726 |
| 003 |
RU-ToGU |
| 005 |
20210913214401.0 |
| 008 |
000111s1999 ru a f b 000 0 rus d |
| 020 |
|
|
|a 5934970011
|
| 035 |
|
|
|a 0055-43360
|
| 039 |
|
9 |
|a 200903231645
|y 200511060546
|z Александр Эльверович Гилязов
|
| 040 |
|
|
|a RU-ToGU
|b rus
|c RU-ToGU
|e PSBO
|
| 080 |
|
|
|a 621.315.592
|
| 080 |
|
|
|a 537.311.322
|
| 100 |
1 |
|
|a Красников, Геннадий Яковлевич
|d 1958-
|9 97433
|
| 245 |
1 |
0 |
|a Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС
|n Ч. 1
|
| 260 |
|
|
|a М.
|b [Б.м.]
|c 1999
|9 702814
|
| 300 |
|
|
|a 226 с.
|b гр.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 220-223
|
| 653 |
|
|
|a субмикронная технология.
|
| 653 |
|
|
|a полупроводники.
|
| 653 |
|
|
|a геттерирование.
|
| 653 |
|
|
|a структурно-примесные дефекты.
|
| 653 |
|
|
|a дрейф ионов.
|
| 653 |
|
|
|a кремниевые микросхемы.
|
| 653 |
|
|
|a интегральные схемы.
|
| 653 |
|
|
|a микроэлектроника.
|
| 653 |
|
|
|a примеси неконтролируемые.
|
| 653 |
|
|
|a кремний поликристаллический
|
| 653 |
|
|
|a чипы кремниевые.
|
| 653 |
|
|
|a технология производства микросхем.
|
| 653 |
|
|
|a физико-термические процессы.
|
| 700 |
1 |
|
|a Зайцев, Николай Алексеевич.
|9 112038
|
| 852 |
4 |
|
|a RU-ToGU
|h 1-868101к
|i 621.3
|n ru
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог НБ ТГУ
|u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=5261
|
| 999 |
|
|
|c 5261
|d 5261
|
| 952 |
|
|
|0 0
|1 0
|4 0
|6 1868101К
|7 0
|9 11248
|a RU-ToGU
|b RU-ToGU
|c 10024
|d 2021-04-02
|g 27.00
|l 0
|o 1-868101к
|p 13820000080630
|r 2021-04-02
|t 1
|w 2021-04-02
|y 1
|
