Bibliographic Details
| Published in: | Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и нанофотоники) : материалы XI международной научно-технической конференции (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2005, 8-10 сентября). Тонкие пленки в электронике : материалы XVII международного симпозиума (Москва, МГТУ им. Н. Э. Баумана 2005, 8-10 сентября)
С. 171-178 |
|---|
| Other Authors: |
Войцеховский, Александр Васильевич,
Григорьев, Денис Валерьевич,
Коротаев, Александр Григорьевич,
Коханенко, Андрей Павлович,
Талипов, Нияз Хатимович |
|---|
| Format: | Book Chapter
|
|---|
| Language: | Russian |
|---|
| Subjects: |
|
|---|
