Универсальная многоволновая лазерная система для микро- и нанотехнологий
| Published in: | Инноватика-2006 : сборник материалов II Всероссийской научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 17-18 мая 2006 г., Томск, Россия С. 61-72 |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Format: | Book Chapter |
| Language: | Russian |
| Subjects: |