О влиянии условий синтеза на фазовый состав и свойства тонких пленок ZrO2-SiO2
Published in: | Полифункциональные наноматериалы и нанотехнологии. Т. 1 Т. 1. С. 163-166 |
---|---|
Main Author: | |
Other Authors: | , |
Format: | Book Chapter |
Language: | Russian |
Subjects: | |
Online Access: | Перейти в каталог НБ ТГУ |