Физические основы микротехнологии

Bibliographic Details
Main Author:	Броудай, Ивор
Other Authors:	Мерей, Джулиус
Format:	eBook
Language:	Russian
Published:	Москва Мир 1985
Subjects:	интегральные схемы микроэлектроника технологические методы микроэлектроники литография субмикронная сухое травление лазерный отжиг электронно-лучевой отжиг микросхемы тонкие пленки электронные микроскопы микрозонды микроэлектронные приборы планарная технология литографические методы микроэлектроники микроскопия субмикронная лазерное сканирование пучки заряженных частиц электронно-оптические системы ионно-оптические системы взаимодействие излучения с веществом осаждение тонких пленок
Online Access:	http://sun.tsu.ru/limit/2020/000053040/000053040.pdf Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items