Внутренние напряжения в пленках моно- и двуокиси кремния Обзоры по электронной технике

Внутренние напряжения в пленках моно- и двуокиси кремния Обзоры по электронной технике Вып. 9(42)

Bibliographic Details
Main Author:	Верховский, Е. И.
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	М. ЦНИИ "Электроника" 1972