Внутренние напряжения в пленках моно- и двуокиси кремния Обзоры по электронной технике Вып. 9(42)

Библиографическая информация
Главный автор: Верховский, Е. И.
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: М. ЦНИИ "Электроника" 1972