Внутренние напряжения в пленках моно- и двуокиси кремния Обзоры по электронной технике Вып. 9(42)
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
М.
ЦНИИ "Электроника"
1972
|
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
М.
ЦНИИ "Электроника"
1972
|