Низкотемпературная плазма и области ее применения

Низкотемпературная плазма и области ее применения

Библиографическая информация
Главный автор:	Березин, Михаил Иванович
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	М. ЦНИИ "Электроника" 1973