Формирование наноразмерных T-образных затворов с использованием метода направленного углового напыления тонких пленок алюминия
Представлена технология изготовления Т-образных затворов GaAs-транзисторов с использованием оптической литографии и уникального метода направленного углового напыления тонких алюминиевых пленок. Минимальная длина ножки Т-образного затвора, сформированного по разработанной технологии, составила Lg...
| Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 64, № 2. С. 63-68 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000720896 Перейти в каталог НБ ТГУ |
| LEADER | 02745nab a2200349 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | koha000720896 | ||
| 005 | 20230319233711.0 | ||
| 007 | cr | | ||
| 008 | 211103|2021 ru s c rus d | ||
| 024 | 7 | |a 10.17223/00213411/64/2/63 |2 doi | |
| 035 | |a koha000720896 | ||
| 040 | |a RU-ToGU |b rus |c RU-ToGU | ||
| 100 | 1 | |a Кулинич, Иван Владимирович |9 761750 | |
| 245 | 1 | 0 | |a Формирование наноразмерных T-образных затворов с использованием метода направленного углового напыления тонких пленок алюминия |c И. В. Кулинич, А. И. Казимиров, Е. В. Шестериков |
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 504 | |a Библиогр.: 2 назв. | ||
| 520 | 3 | |a Представлена технология изготовления Т-образных затворов GaAs-транзисторов с использованием оптической литографии и уникального метода направленного углового напыления тонких алюминиевых пленок. Минимальная длина ножки Т-образного затвора, сформированного по разработанной технологии, составила Lg = 25 нм. GaAs-транзистор с Т-образным затвором, сформированным с использованием углового направленного напыления, продемонстрировал ток насыщения сток-исток IСИ н = 140 мА/мм, напряжение пробоя затвор-сток, по уровню тока IЗС = 50 мкА, составило UЗС проб = 9 В, напряжение отсечки Uотс = 2 В. | |
| 653 | |a GaAs-транзисторы | ||
| 653 | |a Т-образные затворы | ||
| 653 | |a угловое напыление | ||
| 653 | |a тонкие пленки | ||
| 655 | 4 | |a статьи в журналах |9 879358 | |
| 700 | 1 | |a Казимиров, Артем Игоревич |9 761752 | |
| 700 | 1 | |a Шестериков, Евгений Викторович |9 90663 | |
| 773 | 0 | |t Известия высших учебных заведений. Физика |d 2021 |g Т. 64, № 2. С. 63-68 |x 0021-3411 |w 0026-80960 | |
| 852 | 4 | |a RU-ToGU | |
| 856 | 4 | |u http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000720896 | |
| 856 | |y Перейти в каталог НБ ТГУ |u https://koha.lib.tsu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=720896 | ||
| 908 | |a статья | ||
| 999 | |c 720896 |d 720896 | ||
| 039 | |||