Плазма тлеющего разряда с протяженным полым катодом
Рассматривается низковольтный тлеющий разряд низкого давления с полым катодом. Разряд зажигается в системе отражательного разряда с двумя симметричными периферийными разрядными камерами, с общим протяженным полым катодом при форвакууме. Определены параметры плазмы, допустимый диаметр плазменного...
Published in: | Известия высших учебных заведений. Физика Т. 64, № 9. С. 65-68 |
---|---|
Main Author: | |
Format: | Article |
Language: | Russian |
Subjects: | |
Online Access: | http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:000721572 Перейти в каталог НБ ТГУ |