Ионно-лучева изоляция слоев GaAs n- и p- типа проводимости

Bibliographic Details
Published in:	Восьмая российская конференция "Арсенид галлия и полупроводниковые соединения группы III-V". GaAs-2002, 1-4 октября 2002 г. : материалы конференции С. 235-237
Other Authors:	Данилов, Юрий Александрович, Souza, J. P., Boudinov, H. I., Пронин, А. В., Хохлов, Александр Федорович 1945-2003
Format:	Book Chapter
Language:	Russian
Subjects:	физика полупроводников полупроводники полупроводниковые приборы ионное облучение поверхностное сопротивление облучение быстрыми нейтронами экспериментальные исследования полупроводниковые материалы
Online Access:	Перейти в каталог НБ ТГУ

Similar Items